晶圆
光学晶圆是用于制造光子器件的基础基板,通常由硅、锗、石英、蓝宝石等材料制成,通过光刻、刻蚀等微纳加工工艺形成光波导、谐振腔等结构。其核心优势在于高精度集成光学功能(如光传输、调制、滤波),广泛应用于光子芯片、激光器、光通信模块及生物传感器等领域。
硅晶圆
锗晶圆